硅表面活性劑以硅氧烷鏈為親油基，聚氧乙烯鏈、羧基、酮基或其他極性基團為親水基構成的表面活性劑稱為硅表面活性劑。硅表面活性劑和一般表面活性劑一樣，可分為離子型表面活性劑和非離子型表面活性劑。
硅表面活性劑降低表面張力的能力次子氟表面活性劑，而顯著大于烴系表面活性劑。例如烴系表面活性劑水溶液的最低表面張力為25mN／m，而硅表面活性劑水溶液的表面張力可降低至20mN／m。因此，硅表面活性劑具有極好降低水油界面張力的性能，并有極佳的潤濕能力，可很好地潤濕聚乙烯。
硅氧烷鏈表面活性劑的Si—O—C鍵對水不穩定，易被水解，用途受到限制。而Si—O—Si鍵和Si—C鍵穩定，所以均以如下的方法制取無Si-0-C鍵的硅表面活性劑。
3，3，3-三乙基硅丙酸是用三乙基氯甲基硅烷與丙二酸二乙酯進行反應制得的，再以堿中和，得陽離子硅表面活性劑。
非離子硅表面活性劑，如聚二甲基硅氧烷-環氧乙烷共聚物，是用末端具有Si—H的聚二甲基硅氧烷，在鉑催化劑存在下與聚氧乙烯基烯
